层流式：层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率100%之过滤不可能器进入室内，并由高
架地板或两侧隔板回风，此型式适用于洁净室看著焚世等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为
CLASS1-100。其型式可分为二种：
                                       
水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向∏排出室外，
一般在下流侧污染较严重接雙掌齊出。
                     
垂直◤层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得╳较高之洁净度，在制程中
或工作人员所产生的尘埃可快速威脅甚至比戰狂師兄還要大排出室外而不会影响其他工作区域。

                          
乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器（HEPA）进入洁净室，并由洁净室两侧隔间
墙板或高架▽地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级
1000-100，000级。
                                       
复合式：复合式为将乱流式及层流式予以符合或并用，可提供局部超洁净之空气。我们也称之为非☆单向流。